单项选择题

半导体生产过程传统的控制手段主要是固定工艺方案的单变量常规控制，比如（）、压力等环境参数的定值控制。

A.温度
B.湿度
C.流量
D.差压

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单项选择题

积分会消除余差，所以当比例控制产生的余差超过限定值时，可使用比例积分控制器，在反馈控制器中，约有（）是采用PI控制器的。

A.60%
B.65%
C.75%
D.80%

单项选择题

以石油、化工过程为例，接近（）的控制回路均采用以PID控制为基础的常规控制。

A.60%
B.70%
C.80%
D.90%