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【简答题】普凡方程和导出方程过程中的一些假设称为BPS模型。提出这个模型是对晶体生长理论的重大贡献,常用它解释晶体生产中的一些问题。普凡方程在推导过程中有哪三个假设?
答案:
普凡方程在推导过程中有以下几个假设:
1.晶体生长过程中,结晶界面处存在一个稳定的溶质扩散边界层,边界层的厚度δ...
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问答题
【简答题】多晶硅熔完后,无任何机械振动干扰,熔硅表面发生波动的现象,称为温度振荡,简要描述产生温度振荡的原因?
答案:
坩埚中的熔硅某点的温度是变化的,除了受加热温度和散热条件等因素影响外,熔硅中的不稳定对流也会引起温度变化。充分的对流往往...
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问答题
【简答题】所谓“跳硅”,指熔硅在坩埚中沸腾现象。跳硅厉害时熔硅跳出坩埚外,飞溅在加热器、保温罩、石墨托碗和单晶炉壁上,使石墨器件损坏,严重硅跳会烧坏单晶炉底。分析产生跳硅的原因,并给出适当的解决办法?
答案:
有三种情况可以产生硅跳:
1多晶硅中有氧化夹层或封闭的气泡;
2坩埚底部有封闭气泡;
3、熔硅时...
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