A.提高近表面缺陷的探测能力 B.精确测量缺陷的尺寸 C.扩大扫查面积 D.增加探测深度
A.提高局部区域的检测灵敏度 B.提高信噪比 C.提高局部区域的横向分辨力 D.以上都是
A.提高检测灵敏度 B.提高信噪比 C.提高近表面检测能力 D.以上都是