干涉显微镜都是采用光波干涉的原理，利用干涉条纹来测量评定的依据，又叫做光谱干涉仪。

下面是平面磨削尺寸超差的原因描述，错误的是（）

图样给出内槽的中心面对上下两平面中心面的对称度公差要求，测量时，通过被测零件在平板上三次定位来体现基准中心面。

齿轮磨削齿形精度差的原因只能是磨头轴向窜动、径向跳动。

对于一些要求成形后变形量极其微小，并能在相当时间内保持基原始精度的精密零件，在粗磨后要进行（）处理。

无心外圆磨削中的砂轮，一个是磨削轮，它在低速旋转过程中能磨去工件表面的金属层。

精密磨削时，（）磨料的砂轮对各种材料的工件都适用，是目前使用刚玉类磨料中最佳的一种。

用干磨法刃磨刀具是因为（）

下面不属于工艺过程的是（）

气动测量不是利用被测工件的几何参数的变动引起空气压力或流量变化的原理进行测量的。