填空题

在离子注入后，通常采用退火措施，可以消除由注入所产生的晶格损伤，常用的退火方式有（）、（）、（）。

答案：电子束退火；离子束退火；激光退火

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在离子注入法的掺杂过程中，注入离子在非晶靶中的浓度分布函数满足对称的高斯分布，其浓度最大位于（）处。

答案： R_P

在有限表面源扩散中，其扩散后的杂质浓度分布函数符合（）；而在恒定表面源扩散中，其扩散后的杂质浓度分布函数符合（）。

答案：高斯分布函数；余误差分布函数