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负性光刻胶经曝光过的区域被溶解,而未曝光的区域被保留。
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曝光前要进行对准操作。
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使用卧式氧化扩散炉时,在将硅片从花篮转移到石英舟的过程中,严禁裸手操作,一定要戴好乳胶手套,且不能用手直接接触硅片和石英舟。
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