单项选择题

较优基团后列原则中较优基团指的是（）

A．体积大的
B．原子质量大的
C．原子序数大的

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单项选择题

齿轮的胶合失效属于。
A、粘附磨损
B、磨粒磨损
C、接触疲劳磨损
D、冲蚀磨损
E、机械化学磨损
F、腐蚀磨损

多项选择题

CMP工艺中，常用的终点检测方法有
A、电动机电流终点检测
B、光学干涉终点检测
C、红外终点检测
D、显微镜终点检测