A.1/2-1/5 B.1/5-1/10 C.1/3-1/10
A.20% B.30% C.50%
A.光栅 B.激光 C.光波干涉
A.最小值 B.最大值 C.一方位最大值,另一方位最小值
用统计方法计算的叫A类,用其它方法计算的叫B类。
A.3′(或0.007/8) B.4′(或0.059/8) C.5′(或0.012/8)
A.接触变形 B.读数误差 C.测量误差
A.2μm B.3μm C.4μm