A.电阻率 B.电导率 C.电阻 D.电导
A.溅射率 B.溅射系数 C.溅射效率 D.溅射比
A.能量淀积 B.动量淀积 C.能量振荡 D.动量振荡
A.低电阻率 B.易与p或n型硅形成欧姆接触 C.可与硅或二氧化硅反应 D.易于光刻 E.便于进行键合