微电子学章节练习(2019.03.20)

来源:考试资料网
参考答案:1.树脂。光刻胶树脂是一种惰性的聚合物基质,用于把光刻胶中的不同材料聚在一起的粘合剂
2.感光剂。是光刻胶材料...
3.名词解释耗尽层宽度W
参考答案:

P型材料和N型材料接触后形成PN结,由于存在浓度差,就会产生空间电荷区,而空间电荷区的宽度就称为耗尽层宽度W。

参考答案:1.精确控制杂质含量。
2.很好的杂质均匀性。
3.对杂质穿透深度有很好的控制。
4.产生...
7.名词解释Wafer晶元
参考答案:

是生产集成电路所用的载体,多指从拉伸长出的高纯度硅元素晶柱上切下的圆形薄片。

参考答案:目的是为涂胶的硅片上正确地复制掩膜图形。
参考答案:掺杂主要有两种方法,即热扩散和离子注入;
①热扩散:高温环境下,由于热运动杂质原子运动到半导体内部形成一定的分...
参考答案:金属层间绝缘阻挡层:用做金属连线间的保护层。
注入屏蔽氧化层:用于减小注入够到和损伤。
势氧化层:做...