精密和超精密加工技术章节练习(2019.04.21)
来源：考试资料网
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优缺点：这种结构布局要求十字形滑板的上下导轨，不仅要有很高的直线运... 参考答案：1）精微进给和粗进给应分开、以提高微位移的精度、分辨力和稳定性。
2）运动部分必须是低摩擦和高稳定度的，以便实... 参考答案：必要性：环境干扰对双频激光测量测量精度有相当大的影响，环境条件主要是温度、气压、湿度和气流变化、为提高精度，采用激光光路... 参考答案：
普通磨料：包括碳化物系，如碳化硼、碳化硅；刚玉系。
超硬磨料系：包括金刚石，如天然金刚石和人造金刚石；立方氮化硼。