微电子学章节练习(2019.05.09)

来源：考试资料网

1.填空题对高频晶体管结构上的基本要求是：（）、（）、（）和（）。

参考答案：尺寸小；结深浅；线条细；非工作基区重掺杂

2.填空题在P型半导体中空穴是多子，（）是少子。

3.问答题数模转换器芯片能用做什么，模数转换器芯片能用做什么？

数/模转换器芯片可用来提供用做电子机械设备的控制模拟驱动信号。
模/数转换器芯片可用来测量模拟驱动信号的输出。

4.填空题当采用耗尽近似时，由N 型耗尽区中的泊松方程可以看出，掺杂浓度越高，则内建电场的斜率越（）。

5.问答题哪种激光器用做248nm的光源，193nm的光源是什么？

参考答案：通常用于深紫外光刻胶的准分子激光器是波长为248nm氟化氪（KrF）激光器，193nm的氟化氪激光器大概是作为曝光源的准...

6.问答题负胶的两大缺点是什么。

参考答案：在显影时曝光区域由溶剂引起的泡胀；曝光时光刻胶可与氮气反应从而抑制其交联。

7.问答题列举并描述薄膜生长的三个阶段。

参考答案：第一步是晶核形成：成束的稳定小晶核形成，这一步发生在起初少量原子或分子反应物结合起来，形成附着在硅片表面的分离的小膜层的...

8.问答题简单叙述微电子学对人类社会的作用？

参考答案：可以毫不夸张地说，没有微电子技术的进步，就不可能有今天信息技术的蓬勃发展，微电子已经成为整个信息社会发展的基石。随着微电...

9.填空题（）集成电路已成为集成电路的主流。

10.问答题列举下一代光刻技术中4种正在研发的光刻技术。

参考答案：1.极紫外光刻技术（EUV）
2.离子束投影光刻技术（IPL）
3.角度限制投影电子束光刻技术（SC...