A.涂胶、前烘、曝光、坚膜、显影、去胶 B.涂胶、前烘、坚膜、曝光、显影、去胶 C.涂胶、前烘、曝光、显影、坚膜、去胶 D.前烘、涂胶、曝光、坚膜、显影、去胶
A.硅土 B.石英 C.磷石英 D.玻璃 E.水晶
A.蒸镀 B.离子注入 C.溅射 D.沉积
A.衬底加热器 B.抽气系统 C.真空室 D.蒸气源加热器
A.电子 B.中子 C.离子 D.质子
A.锡 B.硫 C.硼 D.磷
A.砷化氢 B.二硼化氢 C.四氟化硅 D.三氟化磷 E.五氟化磷
A.电子源 B.电子泵 C.电子管 D.电子枪
A.LVD B.PED C.CVD D.PVD
A.离子计 B.热传导真空计 C.放电型真空计 D.麦克劳式真空计
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