A、调整内外排温度分布 B、调整机器内的真空度分布 C、调整内外排膜厚分布 D、调整同圈厚度分布
A、镀膜材料受到污染 B、内外排分布不均匀 C、温度没有加 D、充氧不够
A、电子枪 B、扩散泵 C、坩埚盘 D、晶振头