(1)检查大小mask是否有发黑、短路的地方,如有,更换mask; (2)清理靶材边缘,清理溅镀仓。
(1)检查母盘数量; (2)检查白片沟深、沟宽、厚度; (3)检查OD; (4)更换染料; (5)更换母盘。