(1)旋涂室内的湿度、温度; (2)染料的浓度; (3)下料量及摆臂位置、速度。
①调整洗边正角压力; ②调整下料阀; ③调整针头与盘片的位置和角度; ④增大1段速度; ⑤增大二段时间; ⑥检查Mask。
(1)增加下料量; (2)降低一段、二段转速; (3)减小摆臂速度,增加等待时间; (4)调整染料泵压力。
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