简述旋涂稳定的控制。

问答题简述旋涂稳定的控制。

1.问答题如何调整洗边？

①调整洗边正角压力；
②调整下料阀；
③调整针头与盘片的位置和角度；
④增大1段速度；
⑤增大二段时间；
⑥检查Mask。

2.问答题中孔不圆如何调整？

3.问答题怎样解决PO=1？

4.问答题如何调整PI扫描高？

5.问答题如何调整旋涂中心孔染料点、旋涂射线和旋涂不圆？

6.问答题如何调整OD？

7.问答题简述太阳花的调整。

（1）增加下料量；
（2）降低一段、二段转速；
（3）减小摆臂速度，增加等待时间；
（4）调整染料泵压力。

8.问答题简述染料纹的调整。

（1）旋涂回吸；
（2）增大下料量、时间；
（3）提高一段、二段转速；
（4）回料管是否堵塞。

9.问答题简述中孔染料点的调整方法。

（1）提臂速度是否过快；
（2）下料转速是否过大；
（3）针头过高；
（4）回吸量过大。

10.问答题简述“彗星”的调整方法。

（1）染料是否剩余过多；
（2）中孔切的是否光滑；
（3）水口拉丝是否过长；
（4）下料量是否过少；
（5）回吸量过大。