（1）检查大小mask是否有发黑、短路的地方，如有，更换mask； （2）清理靶材边缘，清理溅镀仓。
真空传感器不灵敏。 （1）P12手臂的轴密封漏真空。 （2）系统管路插头或管路有漏的地方。 （3）真空泵真空不足或没真空。
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