洗边系统不下洗边液应检查什么？

问答题洗边系统不下洗边液应检查什么？

1.问答题Singulus后段HS2手臂不动作，驱动器报警如何处理？

2.问答题后段P12或P13放碟错误，但实际有碟片，此种情况如何处理？

3.问答题后段两个下胶阀其中一个下胶量正常，另一个下胶量少，怎样查找原因？

4.问答题后段UV灯不亮（双头线）如何解决？

5.问答题溅镀机抽不上真空怎样解决？

6.问答题溅镀机短路，怎样解决？

（1）检查大小mask是否有发黑、短路的地方，如有，更换mask；
（2）清理靶材边缘，清理溅镀仓。

7.问答题7.0盘片干燥不好，由哪些因素造成的？如何解决？

8.问答题8.0UV灯不亮怎么办？

9.问答题8.0溅镀机触摸屏没溅镀界面不能进入，为什么？

10.问答题P12手臂真空不好的原因有哪些？

真空传感器不灵敏。
（1）P12手臂的轴密封漏真空。
（2）系统管路插头或管路有漏的地方。
（3）真空泵真空不足或没真空。