(1)检查大小mask是否有发黑、短路的地方,如有,更换mask; (2)清理靶材边缘,清理溅镀仓。
真空传感器不灵敏。 (1)P12手臂的轴密封漏真空。 (2)系统管路插头或管路有漏的地方。 (3)真空泵真空不足或没真空。
最新试题
UV灯不亮怎么办?
溅镀机发生短路怎样做?
溅镀机PA手在传送梁不取片应检查什么?
溅镀机抽不上真空有几种可能?
洗边系统不下洗边液应检查什么?
甩胶碗噪音大如何调整?
在什么状况下所有下柜门都应该关闭?
后段P12或P13放碟错误,但实际有碟片,此种情况如何处理?
当设备停机时(超过24小时),操作员应怎样维护设备?
溅镀机抽不上真空怎样解决?