溅镀机发生短路怎样做？

问答题溅镀机发生短路怎样做？

1.问答题溅镀机PA手在传送梁不取片应检查什么？

2.问答题UV灯发生报警“UV灯未开”时怎样处理？

3.问答题对于pick手不取片时就注意什么？

4.问答题洗边系统不下洗边液应检查什么？

5.问答题Singulus后段HS2手臂不动作，驱动器报警如何处理？

6.问答题后段P12或P13放碟错误，但实际有碟片，此种情况如何处理？

7.问答题后段两个下胶阀其中一个下胶量正常，另一个下胶量少，怎样查找原因？

8.问答题后段UV灯不亮（双头线）如何解决？

9.问答题溅镀机抽不上真空怎样解决？

10.问答题溅镀机短路，怎样解决？

（1）检查大小mask是否有发黑、短路的地方，如有，更换mask；
（2）清理靶材边缘，清理溅镀仓。