（1）检查大小mask是否有发黑、短路的地方，如有，更换mask； （2）清理靶材边缘，清理溅镀仓。
真空传感器不灵敏。 （1）P12手臂的轴密封漏真空。 （2）系统管路插头或管路有漏的地方。 （3）真空泵真空不足或没真空。
最新试题
简述打开或关闭冷却水管路阀的操作顺序。
当设备停机时（超过24小时），操作员应怎样维护设备？
后段进胶后应怎样的？
机械手抓不起来盘片怎么办？
刻录光盘片有几种？
准备要停电，关闭电源要注意哪些事项？
溅镀机抽不上真空有几种可能？
如何清理溅镀机？
后段P12或P13放碟错误，但实际有碟片，此种情况如何处理？
溅镀机发生短路怎样做？
