（1）旋涂室内的湿度、温度； （2）染料的浓度； （3）下料量及摆臂位置、速度。
①调整洗边正角压力； ②调整下料阀； ③调整针头与盘片的位置和角度； ④增大1段速度； ⑤增大二段时间； ⑥检查Mask。
（1）增加下料量； （2）降低一段、二段转速； （3）减小摆臂速度，增加等待时间； （4）调整染料泵压力。
（1）旋涂回吸； （2）增大下料量、时间； （3）提高一段、二段转速； （4）回料管是否堵塞。
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