集成电路技术名词解释每日一练(2020.01.11)

名词解释
化学气相沉积
答案：化学气体或蒸气和晶圆表面的固体产生反应，在表面上以薄膜形式产生固态的副产品，其它的副产品是挥发性的会从表面离开。
名词解释
同质外延
答案：
外延层与沉底的材料相同。
名词解释
Chipless
答案：
既不生产也不设计芯片，设计IP内核，授权给半导体公司使用。
名词解释
分辨率R
答案：
是对光刻工艺可以到达的最小光刻圆形尺寸的一种描述。
名词解释
旋涂膜层
答案：
是在硅片表面上旋涂不同液体材料以获得平坦化的一种技术，主要用作层间介质。