超声冲击磨蚀打孔加工时，磨浆从变幅杆内部供给方式其加工效率几乎（）随孔深度而...

填空题超声冲击磨蚀打孔加工时，磨浆从变幅杆内部供给方式其加工效率几乎（）随孔深度而变化；而采用喷嘴外部供给的加工效率会随加工孔的深度加大而显著（）。

1.填空题超声冲击磨蚀工具头与加工孔的侧隙（）磨粒直径。

2.填空题换能器的作用就将超声频的电信号转化成（）。

3.填空题超声加工去除材料的机理是磨料的（）作用产生微裂纹、（）作用，以及液体在超声振动下产生的（）现象和楔入裂纹缝隙，也加强了破坏蚀除作用，故只能加工（）材料。

4.填空题超声冲击磨蚀采用机械能量，超声复合加工有：（）、（）、（）以及（）。

5.填空题常用的超声变幅杆有（）、（）、（）及（）等形式。

6.判断题离子束曝光，即用在大规模集成电路制作中，与电子束相比有更高的灵敏度和分辨率。

7.判断题由于加工时的金属蒸汽会影响电子和离子发射，产生不稳定现象，所以在加工过程中，需要利用真空吸力，不断地把所产生的金属蒸汽抽出去。

8.判断题只有在较高的真空条件中，电子和离子才能高速运动。

9.判断题离子注入的能量远低于离子刻蚀和离子溅射沉积。

10.判断题离子溅射镀膜与离子镀过程原理是一样的。