问答题简述先进制造技术的概念。

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1.单项选择题下列不属于先进制造工艺所具有的显著特点的是()。

A.优质
B.能耗大
C.洁净
D.灵活

2.单项选择题下列不是制造自动化分系统的是()。

C.机械加工系统
B.控制系统物
C.质量保证子系统d.监控系统

3.单项选择题CIMS的两个支撑子系统是()。

A.工程设计自动化子系统、管理信息子系统;
B.制造自动化子系统、质量保证子系统
C.计算机网络子系统、数据库子系统

4.单项选择题在机器人控制系统中下列不属于按其控制方式划分的是()。

A.集中控制方式
B.主从控制方式
C.分散控制方式
D.点位式

5.单项选择题衡量机器人技术水平的主要指标是()。

A.自由度
B.工作空间
C.提取重力
D.运动速度

6.单项选择题微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种()。

a.离子束刻蚀、激光刻蚀
b.干法刻蚀、湿法刻蚀
c.溅射加工、直写加工

7.单项选择题工业机器人有多种分类方式,下列不属于按驱动方式分类的是()。

a.气压传动机器人
b.液压传动机器人
c.电器传动机器人
d.智能机器人

8.单项选择题硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于()。

a.体刻蚀加工对基体材料进行加工,而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工;
b.体刻蚀加工不对基体材料进行加工,而面刻蚀加工对衬底材料进行加工;
c.体刻蚀加工可获得高纵横比的结构,而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构;

9.单项选择题光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是()。

A.电子束曝光技术
B.离子束曝光技术
C.X射线曝光技术

10.单项选择题光刻加工的工艺过程为:()

A.①氧化②沉积③曝光④显影⑤还原⑦清洗
B.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦扩散
C.①氧化②涂胶③曝光④显影⑤去胶⑦还原