把晶振冷却水管进口、出口从连接处断开，并把阀门关上，用压缩空气气枪从进口处吹入压缩空气，看出口处是否有异物流出。
高的真空度、低基板温度、快蒸
最新试题
CVD化学气相沉积法反应步骤可区分为几个步骤？
电浆技术在表面技术上的应用有哪些？
请具体分析MGF2溅料产生的原因？对此有什么好的方法可以预防。
CVD制程具有哪些优缺点？
简述一下镀膜机的开机及关机过程。
钻石材料具有那哪些优点？可应用在哪些产业上？
离子源使用结束后，机器会自动充入氩气对其冷却，冷却的目的是什么？
在镀膜之前为什么要预熔材料？
沉积的薄膜有内应力的存在，其来源为何？
假设已恒温了30分钟，突然通知马上要换电，请详细说明从接到通知到开始镀膜整个处理过程.
