主要目的是快速冷却,由于氩气是不活泼性气体,很难与离子源部件发生氧化。
在镀膜之前要把材料预熔透彻,主要是为了材料进行放气,消除材料中其它成份,保持镀膜不产生飞溅和保持真空度稳定。
把晶振冷却水管进口、出口从连接处断开,并把阀门关上,用压缩空气气枪从进口处吹入压缩空气,看出口处是否有异物流出。
高的真空度、低基板温度、快蒸
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