把晶振冷却水管进口、出口从连接处断开，并把阀门关上，用压缩空气气枪从进口处吹入压缩空气，看出口处是否有异物流出。
高的真空度、低基板温度、快蒸
最新试题
蒸镀的加热方式包括几种？各具有何特点？
在镀膜之前为什么要预熔材料？
某一TiO2层刚开镀3秒钟，突然发现未充氧，该如何处理？
良好的薄膜须具备哪些特性？影响的因素有哪些？
何为化学气相蒸镀（CVD）？主要的优缺点有哪些？
TiN氮化钛镀膜具有哪些特点？
如何用简单的方法检验刚换好的氧气或氩气瓶各联结处是否漏气？
膜厚的量测方法有哪些？
真空镀膜有哪些优点？
沉积的薄膜有内应力的存在，其来源为何？
