【简答题】Laser mark是什么用途? Wafer ID 又代表什么意义?

答案：

Laser mark 是用来刻wafer ID, Wafer ID 就如同硅片的身份证一样,一个ID代表一片硅片的身份。

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【简答题】为何需要zero layer？
答案：
芯片的工艺由许多不同层次堆栈而成的, 各层次之间以zero layer当做对准的基准。
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【简答题】Wafer下线的第一道步骤是形成start oxide 和zero layer? 其中start oxide的目的是为何？
答案：
①不希望有机成分的光刻胶直接碰触Si表面。
②在laser刻号过程中，亦可避免被产生的粉尘污染。