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【简答题】解释扩散系数及其物理含义,并说明影响扩散系数的主要因素是什么,及如何影响?
答案:
杂质的扩散流密度与杂质的浓度梯度成正比,将二者之间的比例系数定义为杂质在基体材料中的扩散系数,其单位为cm
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【简答题】说明杂质在晶圆中的扩散机制及主要特点,并各举一例。
答案:
间隙式杂质从一个间隙到另一个间隙的运动是通过原子间的缝隙进行的,这种依靠间隙方式而逐步跳跃前进的扩散称为间隙式扩散(In...
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【简答题】什么是扩散?并说明扩散的两个基本条件?按材料的形态划分,扩散有那几种基本形式?工艺中的高温扩散属于哪一种?
答案:
扩散,是一种材料通过另一种材料的运动。
扩散的两个必要条件:浓度差,过程所需要的能量。
固态,液态,气态扩散。
属于固态扩散。
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