RF 电源适用的设备是（）。

油扩散泵的优点是什么（）？

下列可适用于sputter 设备的电源都有（）。

检漏仪里标准漏孔的作用是（）。

RF电源故障解析：同一个腔体内若有多个RF电源运行时会发生哪些异常（）？

对于影响成膜的异常放电发生时，关于DC 电源性能重要性内容下列正确的选项是（）。

从外围设备要重新启动一度暂停的程序，要使用（）输入。

下列各项，不属于工业中常用的机器视觉系统上位机的是（）。

定期应该对变频器进行除尘，重点是变频器散热翅片、变频器主线接线端子排、变频器（）。

工业机器人对安装环境的要求有（）。