【简答题】在化学气相薄膜沉积过程中可控制的变里有那些？涉及那几个基本过程？

答案：气体流量、气体组分、沉积温度、气压、真空室几何构型等。
因此，化学气相沉积涉及三个基本过程：
（1）反应...

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（2）反应气体会和基片或设备发生化学反应；
（3）在化学气相沉积中所使用的...
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