问答题

【简答题】简述反射切口、驻波的概念、抗反射涂层的作用

答案：反射切口：在刻蚀形成的垂直侧墙表面，反射光入射到不需要曝光的光刻胶中就会形成反射切口
驻波：入射光与反射光发射...

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负性光刻胶：曝光区域不溶解于显影液，显影后图形与...

【简答题】简述光刻胶的概念及目的

答案：概念：一种有机化合物，受紫外光曝光后，在显影液中的溶解度会发生变化
目的：
（1）将掩模版图案转移到...