简述反射切口、驻波的概念、抗反射涂层的作用_考试资料网

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问答题简述反射切口、驻波的概念、抗反射涂层的作用

参考答案： 反射切口：在刻蚀形成的垂直侧墙表面，反射光入射到不需要曝光的光刻胶中就会形成反射切口
驻波：入射光与反射光发射...

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