什么是分凝系数，名词解释定义是？

名词解释分凝系数

1.名词解释湿氧氧化

氧气中携带一定量的水汽，Si在其中被氧化成SiO₂的过程。

2.名词解释水汽氧化

高温下，硅片与高纯水蒸气反应生成SiO₂的过程。

3.名词解释干氧

高温下，氧气与硅片反应生成SiO₂的过程。

4.名词解释网络改变剂

即间隙式杂质，如Na，K，Pb，Ca，Ba，Al等。

5.名词解释非桥键氧

只与一个Si原子联结的氧，是少数。

6.名词解释桥键氧

连接两个Si-O四面体的氧称为桥键氧，是多数。

7.名词解释CMP

化学机械抛光。

8.名词解释短沟道效应（Short Channel Effect）

9.名词解释方块电阻（薄层电阻）

方块电阻的大小直接反映了扩散入硅内部的净杂质总量。

10.名词解释固溶度（solubility）

在平衡条件下，杂质能溶解在硅中而不发生反应形成分凝相的最大浓度。