问答题

【简答题】掩膜版的对准法则，说明对准误差有哪些？

答案： ①把所需图形在晶圆表面上定位或对准
②通过曝光灯或其他辐射源将图形转移到光刻胶涂层上
对准原则：

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答案：

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答案： ①表面准备：清洁和干燥晶圆表面
②涂光刻胶：在晶圆表面均匀涂抹一薄层光刻胶
③软烘培：加热，部分蒸发...