扫描电镜像的衬度根据其形成的依据，可分为：形貌村度、原子序数衬度、电压衬度。
（1）质厚衬度：适用于非晶体薄膜和复形膜试样所成的图像解释； （2）衍射衬度和相位衬度：适用于晶体薄膜试样所成图像的解释。
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