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问答题如何调整真空传感器？

参考答案： 将其处于吸真空状态，调整真空度，检测使其指示灯刚好处于不亮状态（此时机械手上不吸盘片）。

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参考答案：在增加使用桶压力时，应相应增加中间桶的压缩空气压力。

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参考答案：先检查灯管是否炸裂，如正常将QF9关闭再合上，重新初始化。

6.问答题溅镀机在运行当中，报警短路并不溅镀应立即做哪些工作？

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8.问答题胶系统中间桶吸不上胶应先检查什么？

参考答案：检查胶系统输出信号是否正常，如正常应检查过滤器，最后再检查电磁阀。

9.问答题8.0旋涂不向缓冲站放片，应先检查什么？

参考答案：检查报警界面是否有关于缓冲站的报警对话框，如有消除后即可恢复正常。

10.问答题机械手吸不住盘片，应先检查什么？

参考答案：机械手吸不住盘片，先检查吸嘴是否破损。