A.电场磁场相互平行，电场垂直于靶表面，磁场垂直于靶表面B.电场磁场相互垂直，电场垂直于靶表面，磁场平行于靶表面C.电场磁场相互垂直，电场平行于靶表面，磁场垂直于靶表面D.电场磁场相互平行，电场平行于靶表面，磁场平行于靶表面
A.直流二极溅射B.射频二极溅射C.磁控溅射
A.气体放电产生氩离子、金属原子沉积在衬底上、金属靶产生金属原子B.金属靶产生金属原子、气体放电产生氩离子、金属原子沉积在衬底上C.气体放电产生氩离子、金属靶产生金属原子、金属原子沉积在衬底上D.金属原子沉积在衬底上、气体放电产生氩离子、金属靶产生金属原子
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