A.蒸馏水 B.自来水 C.去离子水 D.矿泉水
A.投影式同接触式相比,掩模版的利用率比较高 B.接触式的分辨率优于接近式 C.接近式的分辨率受到衍射的影响 D.投影式曝光系统中不会产生衍射现象 E.投影式曝光是目前采用的主要曝光系统
A.原始社会 B.奴隶社会 C.封建社会 D.资本主义社会
色码识别定义
A.ARC可以是硅的氮化物 B.可用干法刻蚀除去 C.ARC膜可以通过PVD或者CVD的方法形成 D.ARC在刻蚀中也可做为掩蔽层 E.ARC膜也可以通过CVD的方法形成
A.电阻低 B.抗电迁移特性好 C.对硅氧化物有很好的黏合性 D.有很高的纯度 E.易于光刻
A.铜的电阻率比铝小 B.铝的熔点较高 C.铝的抗电迁移能力较弱 D.铜与硅的接触电阻较小 E.铜可以在低温下淀积
A.蒸镀 B.离子注入 C.溅射 D.沉积