精密和超精密加工技术章节练习(2018.02.26)
来源：考试资料网
参考答案：精密和超精密砂轮磨削、精密和超精密砂带磨削等。 参考答案：电磁控制微位移工作台结构简单，控制系统易于实现，行程大，驱动力也较大。位移分辨率可达0.1μm，因此应用比较广泛，... 参考答案：
干涉法；跨步仪法；光轴法；激光准直仪法；双频激光准直仪法。
参考答案：1、导向精度高，包括导轨在水平面内和垂直面内的直线度、导轨的平行度、导轨间的垂直度均要高；
2、足够的刚度；<... 参考答案：（1）精密、超精密切削和磨削加工。
（2）精密和超精密特种加工。
包括：
A.电物理加工； 参考答案：
金刚石刀具的磨损，主要是机械磨损，其磨损本质是微观解理的积累。金刚石晶体的破损，主要产生于（111）晶面的解理。
参考答案：1）V平面
优缺点：导轨磨损后可自动补偿，保持间隙和润滑，不少机床采用这种结构。但这种结构有下述缺点.第&md... 参考答案：通常将加工精度在0.1-lμm，加工表面粗糙度在Ra0.02-0.1μm之间的加工方法称为精密加工。而将加工... 参考答案：硬脆材料经研磨后的表面，由于有微细的裂纹，加工后会在该部位继续留有裂纹。例如，对经研磨的单晶硅表面，使用氟、硝酸系列的溶...