A.2族金属 B.碱金属 C.合金金属 D.稀有金属
A.氮化硅 B.二氧化硅 C.光刻胶 D.多晶硅
A.ARC B.HMDS C.正胶 D.负胶
A.源蒸气 B.杂质和惰性气体混合物 C.水蒸气和杂志混合物 D.杂质、惰性气体、水蒸气混合物
A.砷化氢 B.二硼化氢 C.三氟化硼 D.硅烷 E.氧气
A.剂量分布仪 B.剂量统计仪 C.电荷分析仪 D.电荷积分仪