半导体材料问答题每日一练(2016.03.02)

问答题
描述净化间的舞厅式布局。
答案：
净化间的舞厅式布局为大的制造间具有10000级的级别，层流工作台则提供一个100级的生产环境。
问答题
什么是CVD中的气缺现象？解决气缺现象的措施？
答案：1）气缺现象：一个入气口的反应室，沿气流方向反应剂不断消耗，浓度降低，因此膜厚不均。当气体反应剂被消耗而出现的反应剂浓度...
问答题
解释图中现象的原因和叙述流程
答案：1）原因：正胶的曝光区和负胶的非曝光区的光刻胶在显影液中溶解，而正胶的非曝光区和负胶的曝光区的光刻胶则不会在显影液中溶解...
问答题
什么是无源元件？例举出两个无源元件的例子。什么是有源元件？例举出两个有源元件的例子。
答案：无源元件：在不需要外加电源的条件下，就可以显示其特性的电子元件。这些元件无论如何和电源相连，都可以传输电流。如电阻，电容...
问答题
什么是硅化物？难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么？
答案：硅化物是难熔金属与硅反应形成的金属化合物，是一种具有热稳定性的金属化合物，并且在硅/难熔金属的分界面具有低的电阻率。难熔...