半导体芯片制造工半导体芯片制造中级工问答题每日一练(2019.05.10)

问答题
集成电容主要有哪几种结构？
答案：
①金属-绝缘体-金属（MIM）结构；
②多晶硅/金属-绝缘体-多晶硅结构；
③金属叉指结构；
④PN结电容；
⑤MOS电容。
问答题
什么叫光刻？光刻工艺质量的基本要求是什么？
答案：光刻是一种图形复印和化学腐蚀相结合的精密表面加工技术。
对光刻工艺质量的基本要求是：刻蚀的图形完整、尺寸准确、...
问答题
为什么说洁净技术是半导体芯片制造过程中的一项重要技术？
答案：半导体芯片制造，尤其是随着高度集成复杂电路和微波器件的发展，要求获得细线条、高精度、大面积的图形，各种形式的污染都将严重...
问答题
叙述H2还原SiCl4外延的原理，写出化学方程式。
答案：在气相外延生长过程中，首先是反应剂输运到衬底表面；接着是它在衬底便面发生反应释放出硅原子，硅原子按衬底晶向成核，长大成为...
问答题
操作人员的质量职责是什么？
答案：操作人员的质量职责是：（1）按规定接受培训考核，以达到所要求的技能、能力和知识；（2）严格按工艺规范和工艺文件进行操作，...