微电子学名词解释每日一练(2020.04.13)

名词解释
离轴照明
答案：通过使用光圈将入射光以一定角度入射到光学系统的透镜上，收集光刻板上光栅的一级衍射，提高分辨率。
名词解释
水汽氧氧化
答案：氧化（氧气）中携带一定量的水气，氧化特性介于干氧与湿氧之间。
名词解释
PSM移相掩膜
答案：相移掩膜上的电介质层在光刻版上开口部分以间隔的方式形成相移图形，通过没有相移涂敷开口部分的光线，会与通过有相移涂敷开口的...
名词解释
Die芯片裸片
答案：以硅工艺为例，一般把整片的硅片叫做wafer，通过工艺流程后每一个单元会被划片，封装。在封装前的单个单元的裸片叫做die...
名词解释
合金化热处理
答案：利用热能使不同原子彼此结合成化学键而形成金属合金的一种加热工艺。