微电子学填空题每日一练(2020.04.19)

填空题
半导体集成电路是采用半导体工艺技术，在硅基片上制作包括电阻、电容、（）、晶体管等元器件并具有某种电路功能的集成电路。
答案：二极管
填空题
根据不同的击穿机理，PN结击穿主要分为（）和隧道击穿这两种电击穿。
答案：雪崩击穿
填空题
PN结总的电容应该包括势垒电容和（）之和。
答案：扩散电容
填空题
光刻胶的三种主要成分是：（）。正胶的感光剂是（），曝光使其（），正胶的曝光区在显影后（）；曝光使负胶的感光剂（），使曝光区在显影后（）。
答案：感光剂、基体材料和溶剂；重氮醌；长链分子断裂；去除；交联；保留
填空题
离子注入机的对Si衬底作P型掺杂的源气常用（），N型掺杂的源气常用（）和（）。对GaAs做N型掺杂的源气常用（）
答案：BF₃；PH₅；AsH₅；SiH₄