常用下列指标描述步进电机的工作性能：（）、（）、（）、（）、（）。

填空题常用下列指标描述步进电机的工作性能：（）、（）、（）、（）、（）。

1.填空题光栅主要由（）和（）组成，通常，（）固定在活动部件上（如工作台或丝杠），（）安装在固定部件上。

2.填空题感应同步器是一种应用电磁感应原理来测量（）的高精度检测元件，分为（）和（）。直线式由定尺和滑尺组成，表面有正弦绕组和余弦绕组，当余弦绕组与定尺绕组位移相同时，正弦绕组与定尺绕组错开（）节距。

3.填空题PLC从工作过程上说分成三个阶段，即（）、（）、（）。

4.填空题检测与传感装置包括（）和（）。

5.填空题伺服驱动技术的主要研究对象是（）。

6.填空题机电一体化共性关键技术主要有六项，分别是（）、（）、（）、（）、（）、（）。

7.填空题机电一体化系统与其五种内部功能相对应，由（）、（）、（）、（）、（）组成，各部分之间通过（）相联系。

8.填空题机电一体化系统中的基本控制类型：（1）（）；（2）（）；（3）（）；（4）（）。

9.填空题经典控制理论的分析方法主要包括：（）分析法、（）分析法、（）分析法等三大分析方法。

10.填空题 控制理论分为三个阶段：
1）（）
2）（）
3）（）