问答题

【简答题】什么是恒定表面源扩散？其扩散形成的结深主要受哪些因素的影响？其中哪一个影响最主要？为什么？

答案：如果在整个扩散过程中，硅片表面的杂质浓度始终不变，这种类型的扩散称为恒定表面源扩散。结深只与扩散时间t和扩散系数D有关，...

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【简答题】解释扩散系数及其物理含义，并说明影响扩散系数的主要因素是什么，及如何影响？

答案：杂质的扩散流密度与杂质的浓度梯度成正比，将二者之间的比例系数定义为杂质在基体材料中的扩散系数，其单位为cm^2<...

【简答题】说明杂质在晶圆中的扩散机制及主要特点，并各举一例。

答案：间隙式杂质从一个间隙到另一个间隙的运动是通过原子间的缝隙进行的，这种依靠间隙方式而逐步跳跃前进的扩散称为间隙式扩散（In...