(1)检查母盘数量; (2)检查白片沟深、沟宽、厚度; (3)检查OD; (4)更换染料; (5)更换母盘。
(1)胶温应当适当(太热流动性会增强); (2)合理的静电施加; (3)粘合手速度和时间配合一致; (4)压胶手平衡度。
①减小下胶时间增大下胶速度,使胶圈变细; ②减小下胶半径; ③减小压胶位置; ④增大甩胶转速或时间,减小真空量。
①校正PA; ②校正SA; ③检查TAB10和TAB11托盘; ④更换Mask。
(1)清理甩胶pin; (2)清理UV pin; (3)调整A侧白片RT、TT; (4)调整B侧白片RT、TT。
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