①校正PA; ②校正SA; ③检查TAB10和TAB11托盘; ④更换Mask。
(1)清理甩胶pin; (2)清理UV pin; (3)调整A侧白片RT、TT; (4)调整B侧白片RT、TT。
(1)是否更换或添加染料; (2)旋涂室的温、湿度是否有明显变化。
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